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技術方案

Technical scheme

在研項目 解決案例

新型硼擴散技術

該項目開發一種新型硼擴散設備,并開發與之配套的硼源用預在N型硅片上制作PN結,以取代目前普遍被采用的傳統的擴散爐擴散和離子注入。有以下優勢:1.可大幅降低設備成本和材料成本;2.可降低表面死層厚度,從而大大提高PN結質量。


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